PROJECT CASES

Turbo Molecular Pump
Your present position： Home> PROJECT CASES >Turbo Molecular Pump

Turbo Molecular Pump

Application: Semiconductor
Max. speed: 25,000 RPM
Capacity: 1～1.5 kw
Rotational accuracy: 15 μm (o-p)

Structure

AMB technology principle2

Test Result

AMB structure
在 Ariba Discovery 上查看 FOSHAN GENESIS AMB TECH CO., LTD. 概要